безмасляный насос

безмасляный насос
Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10^-3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос: ротор в форме винта выталкивает молекулы газа наружу.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]