безмасляный насос

безмасляный насос

 

безмасляный насос
Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10-3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос: ротор в форме винта выталкивает молекулы газа наружу.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • dry pump


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Поможем написать курсовую

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»